1. СВЧ-Плазмохимические установки для низкотемпературного газофазного синтеза CVD-алмазных материалов

 

ООО «ТВИНН» изготавливает ростовые установки с СВЧ генераторами мощностью от 6 до 15 кВт, предназначенные для выращивания поликристаллических алмазных  пленок на подложках из монокристаллического кремния диаметрами 57, 63, 75, 100 и 127 мм и толщиной от 20 мкм до 2,0 мм и более. 

Скорость роста алмазных пленок не менее 2 мкм/час; теплопроводность пленок не менее 1000 Вт/м×К.

 

На рис. 1.1, 1.2 и 1.3 показаны ростовые установки, используемые для выращивания CVD-алмазных дисков.

 

 

Рис 1.1

 

 

  

Рис 1.2

 

  

  Рис. 1.3

Плазмохимическая установка для выращивания поликристаллических алмазных пленок состоит из следующих функциональных блоков:

• рабочая камера;

• система вакуумной откачки;

• система водяного охлаждения;

• система регулирования газов;

• система контроля температуры подложки;

• источник СВЧ энергии;

• источник вспомогательного электропитания;

• система управления с персональным компьютером;

• газовые баллоны;

• электролизер. 

Конструкция рабочей камеры включает в себя: цилиндрическую вакуумную камеру с водоохлаждаемыми стенками, состоящую из дна и крышки с технологическими смотровыми окнами, коаксиально-волновым переходом и тюнером. Внешний диаметр камеры составляет 500 мм. Крышка камеры открывается вверх для легкого доступа к подложкодержателю и образцу.

 

Система подачи газа обеспечивает напуск смеси технологических газов в вакуумную камеру во время технологического процесса и включает четыре газовых канала. В состав системы подачи газа входят электронные регуляторы расхода газа для автоматического поддержания постоянного расхода газов в процессе осаждения алмазных пленок, пневматические клапаны, натекатели, фильтры и трубопроводы для подвода рабочих газов в вакуумную камеру. Технологические газы: CH₄, H₂, N₂, O_2. 

 

Контроль температуры на подложке осуществляется двухлучевым ИК-пирометром с диапазоном измерения температуры 750–1300 °С.

 

Источник СВЧ энергии  состоит из блока питания и блока магнетрона. К обоим блокам  подводится водяное охлаждение.

 

Спецификации СВЧ блока питания для установок:

 

Питающее  напряжение, частота	3×380 В, 50/60 Гц
Мощность СВЧ-генераторов:	от 3 до 15 кВт, рабочая частота 2,45 ГГц
Шаг регулирования мощности:	100 Вт
Срабатывание защиты при величине отраженной мощности более:	2000 Вт
Срабатывание защиты по протоку охлаждающей воды:	5 сек
Управление:	от компьютера
Охлаждение:	водяное, воздушное

 

Управление установкой осуществляется с помощью специализированного программного обеспечения, вся информация о параметрах процесса отображается на мониторе, управление устройствами установки осуществляется с использованием сенсорного экрана. Программное обеспечение позволяет получать всю необходимую информацию о параметрах процесса и работе всех систем установки, а также сообщать об ошибках, отклонениях от технологического режима и обеспечивать безопасное выключение при аварийных ситуациях.

Конструктивно компьютер и сенсорный экран с монитором располагаются на передней части стойки управления.

Продолжительность непрерывной работы установки — до 700 часов.

Время подготовки установки к работе: до 1 часа.

Общий вес установки около 500 кг.

С оборудованием поставляется:

• комплект технологической оснастки (подложкодержатель для образца, защитная накладка);
• руководство по эксплуатации;
• техническая и эксплуатационная документация.

 

Срок поставки установки — 8 месяцев.

 

Срок гарантии, предоставляемый Исполнителем, соответствует гарантии Производителя оборудования и составляет не менее 12 месяцев.

Цена установки договорная и зависит от параметров установки и требуемых характеристик алмазных материалов.